真空分子泵機(jī)組是一種高真空抽氣設(shè)備。它通常由分子泵和機(jī)械泵兩部分組成。分子泵主要用于排除氣體中的微粒和分子，可以實(shí)現(xiàn)較高的真空度。機(jī)械泵用于將未被分子泵排除的余氣壓縮并輸出。它的該組件是實(shí)現(xiàn)高真空度的關(guān)鍵。它使用電場(chǎng)作用于介質(zhì)分子，從而達(dá)到排氣目的；泵用于將未被分子泵排除的氣體壓縮并輸出；分子泵操作時(shí)，易產(chǎn)生大量熱量，從而影響其性能和壽命。因此，冷卻系統(tǒng)是不可少的；控制系統(tǒng)用于監(jiān)測(cè)和控制各個(gè)組件的運(yùn)行狀態(tài)，并確保整個(gè)過(guò)程順暢無(wú)誤。
 

　　真空分子泵機(jī)組可用于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空閃鍍、真空制冷、微電子工業(yè)等領(lǐng)域。主要由三部分組成：氣體擴(kuò)散閥、旋片泵、離子泵。其中，離子泵與旋片泵之前必須預(yù)先安裝一束速率計(jì)，以避免氣體被離子泵吸收而造成污染，并可測(cè)速度。利用高速運(yùn)動(dòng)的分子轟擊低壓區(qū)分子和壁面分解技術(shù)，把分解出來(lái)的氣體從泵內(nèi)排除，使灌入容器內(nèi)的氣體通過(guò)蒸氣或氣相輸送到真空泵側(cè)。同時(shí)，由于分子泵的尺寸小，所以能夠處理大分子和長(zhǎng)鏈分子的氣體，甚至可將水分子清除 。

　　真空分子泵機(jī)組的維護(hù)保養(yǎng)方法：
 

　　1.泵油更換
 

　　根據(jù)使用周期，必須定期更換泵油。通常，每半年更換一次泵油，其中，離子泵和旋片泵的更換間隔時(shí)間不超過(guò)3個(gè)月。
 

　　2.啟動(dòng)前檢查
 

　　開(kāi)動(dòng)前要檢查所有管路連接件是否牢固；離子泵及其與旋片泵兩者之間安裝恰當(dāng)；新加入的氣體必須清潔干燥，即氣體溫度低于泵上殼的環(huán)境溫度，并盡可能避免攜帶灰塵。
 

　　3.使用過(guò)程中的問(wèn)題處理
 

　　在實(shí)際應(yīng)用中，如果發(fā)現(xiàn)真空分子泵磨損到一定程度時(shí)，經(jīng)常出現(xiàn)漏油、過(guò)度振動(dòng)或產(chǎn)生噪聲的情況，需要立即停止操作并將其送至專業(yè)維修公司進(jìn)行處理。